基于局域场加强的近场纳米加工技术
介绍了一种全新的基于飞秒激光局域场加强效应的纳米加工技术，通过使用了微焦级别脉宽为130fs、波长800nm的飞秒激光照射于原子力显微镜的探针针尖，利用其局域场加强效应在金薄膜表面加工出各种纳米图形。对加工参数对加工线宽的影响中，我们发现了随着加工能量的减小和加工速度的不断增大将导致加工线宽不断减小，最终达到了极限线宽(～10nm)。这项技术可以广泛的应用与各种材料的加工中，尤其适合各种金属薄膜的加工，特别是结合了现有的自动化控制系统更是可以加工出任意复杂的二维纳米图形。
飞秒激光 原子力显微镜 纳米加工技术 纳米图形 加工参数 金属薄膜
言峰 周明 范晓萌 张伟
江苏大学光子制造科学技术中心，江苏镇江 212013
国内会议
上海
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2008-03-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）