电化学沉积过程中氮化碳晶体的枝状生长

摘要：

本文采取电化学沉积方法，以尿素的甲醇溶液为反应原液，并加入少量醋酸，于单晶硅(100)获得氮化碳材料的枝状多晶体，其晶粒线径可达50μm。X射线衍射谱分析表明，晶粒主要为立方相及少量β相和α相。

关键词： 电化学沉积 氮化碳薄膜 反应机理 枝状生长 晶粒线径

作者: 王建中 于卫锋 田瑀 曹荣根 宋云 宁西京

作者单位: 复旦大学现代物理研究所教育部应用粒子束物理重点实验室,上海,200433 复旦大学材料科学系电子材料实验室,上海,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-8

在线出版日期: 2008-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）