PECVD法沉积类金刚石膜的研究

摘要：

以C2H2 为碳源，Ar 气为辅助气体，利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片和PET 膜上制备了类金刚石(diamond-like carbon，DLC)薄膜。利用红外光谱(FTIR)和视频光学接触角测量仪(DSA100)对类金刚石薄膜的结构、成分进行了细致的分析；利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌；同时，透氧测试来研究薄膜的阻隔性能与薄膜的结构之间的关系。另外，还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验结果表明，PECVD 制备的DLC 薄膜比较致密、均匀，有较好的耐磨性能。

关键词： 类金刚石膜 结构分析 等离子体 化学气相沉积 薄膜结构 表面形貌

作者: 杨莉 陈强

作者单位: 北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,02600

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-8

在线出版日期: 2008-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）