磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合薄膜的研究

摘要：

采用磁过滤阴极弧法，以金属Zr 为阴极在真空室中通入C2H2和N2 混合气体来制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合薄膜，用X 射线衍射(XRD)、扫描电镜的能谱仪(SEM-EDS)、X 射线电子能谱(XPS)和纳米力学探针研究了薄膜的成分、结构及其性能。实验结果表明薄膜是由ZrCN和无定形碳两种纳米结构组成；气体流速对复合膜的的成分和结构有显著影响：随着混合气体流速的增加，薄膜的锆原子百分比减小，而N和C的含量逐渐增大，薄膜的硬度逐渐减小，ZrCN 峰强度逐渐降低。

关键词： 磁过滤阴极弧法 纳米复合薄膜 气体流量 真空弧 纳米结构

作者: 周奎 张旭 吴先映

作者单位: 北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室;北京师范大学低能核物理研究所,北京市辐射中心,北京,100875

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十二届电子束离子束学术年会、第九届电子束焊接学术交流会、第十一届离子源学术交流会、高能束加工技术研讨会、第十届粒子加速器学术交流会暨荷电粒子源、粒子束会议

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2008-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）