负偏压对磁控溅射氧化铝薄膜的影响

摘要：

本文使用东方盖德公司生产的缠绕式直流磁控溅射设备进行了磁控溅射薄膜沉积的研究，探讨了负偏压对基体温度和薄膜表面形貌的影响，分析了负偏压对薄膜表面成分和阻隔性的影响情况，指出适当的负偏压影响磁控溅射Al2O3薄膜的性能，有利于获得高阻隔性的包装材料。

关键词： 负偏压 磁控溅射 氧化铝薄膜

作者: 林晶 刘壮 孙智慧 高德

作者单位: 哈尔滨商业大学，哈尔滨 150028 印刷包装材料与技术北京市重点实验室，北京 102600 哈尔滨商业大学，哈尔滨 150028

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会2008年学术年会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 133

在线出版日期: 2008-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）