氦放电等离子体射流的实验研究
在大气压条件下放电产生非平衡等离子体为各种等离子体工艺带来许多好处。首先是去掉了在高真空设备上的投资，再一个就是为工件的操作带来了便利，提高了工作效率，不必为抽真空和从真空恢复到大气压再耗费过多的时间。大气压下放电产生非平衡等离子体的方法有很多，数十年来有许多文献发表，提出各自的方法，并在相应的各种应用场合中获得了很好的结果。在这些已发表的文章中，我们注意到有关DBD等离子体射流的一些有趣的现象。 本文首先简单地介绍采用的实验装置，然后给出采用数码相机和PMT针对等离子体注的一些实验结果，实验结果表明DBD产生的射流与单电极电晕产生的射流是一样的，还对这些实验结果进行了一些讨论，并对等离子体注的形成机理给出了定性的解释。
氦放电 等离子体射流 非平衡等离子体
江南
中国科学院物理研究所 北京603信箱 100190
国内会议
昆明
中文
108
2008-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）