空气等离子体射流表面处理技术

摘要：

传统的表面处理用湿法，采用化学溶剂浸泡擦洗。湿法不具有普适性，处理速度慢，特别是化学溶剂会造成二次污染，使得人们必须寻找新的表面处理技术。 本文介绍了低温等离子体具有的化学特性，阐述了采用低气压等离子体表面处理技术的局限性，浅谈了空气等离子体射流表面处理技术的优点。

关键词： 空气等离子体射流 表面处理技术 低温等离子体 化学特性

作者: 任兆杏 王冬梅 任炟 吴信莲

作者单位: 合肥研飞电器科技有限公司 科烨电物理设备制造有限公司 安徽循环经济技术工程院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会2008年学术年会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 77

在线出版日期: 2008-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）