关键词： PECVD H薄膜 微结构 输运特性
作者: 黄少云 石建军 徐骏 黄信凡 陈坤基
作者单位: 南京大学物理系
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 53-53
在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）