SnO<,2>-Ag-SnO<,2>结构室温H<,2>S敏感特性研究

摘要：

报道了采用PECVD技术制备的SnO<,2>-Ag-SnO<,2>结构薄膜，在20℃下对H<,2>S具有良好的气敏特性，即高灵敏度、良好的选择特性和开关式响应特性。

关键词： PECVD 气体传感器 敏感特性 结构薄膜

作者: 戴国瑞 童茂松 高鼎三

作者单位: 吉林大学电子工程系,集成光电子重点联合实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 180～182

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）