电子注分析系统

摘要：

简要说明了电子注分析系统在超高频真空器件的设计、研究中的重要性，关着重介绍了该系统的构成、指标等。

关键词： 电子注 检测 数据采集 工件台 收集极

作者: 王理明 张福安

作者单位: 科学院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 55～61

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）