电子信息产业的发展与微电子机械系统

摘要：

该文从电子信息产业的发展和我国电子专用设备行业的现状及建立民族电子信息产业的需要出发，简明介绍了微电子机械系统的制作和装配技术概况并对我国电子专用设备行业提出期望

关键词： 电子信息产业 微电子机械系统 LIGA技术 表面活化键合技术SAB

作者: 李海泉

作者单位: 五厂第二研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十届电子元件学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 125～127

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）