电子陶瓷窑炉热工设备的进展

摘要：

近几年，电子陶瓷生产工艺对窑炉热工设备提出了新要求。该文着重介绍研制的几种电子陶瓷窑炉的特点及其工艺适应性。

关键词： 电子陶瓷窑炉 气氛保护 氧化气氛 烧结

作者: 刘宜成

作者单位: 信息产业部电子第四十八研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十一届电子元件学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 216～220

在线出版日期: 2000-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）