等离子体去污工艺

摘要：

使用等离子设备对印刷电路板进行清洗，是一种干法清洗工艺，因为没有涉及任何的液体，我们称之为干制程。此制程通常是使用高频发生器，利用电场能量在真空的条件下，分离加工气体建立等离子体技术，依靠处于“等离子体态”物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。

关键词： 等离子设备 印刷电路板 干法清洗 清洗工艺 去污工艺

作者: 何润宏

作者单位: 汕头超声印制板公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004春季国际PCB技术/信息论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 332-337

在线出版日期: 2004-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）