会议专题

浅谈碱性蚀刻的蚀刻均匀性及其对策

随着外层线路的细线化、阻抗控制能力的提升,外层蚀刻均匀性尤为重要。本文着重对影响蚀刻均匀性的几个因素进行剖析,以提高生产中的碱性蚀刻均匀性。

碱性蚀刻 蚀刻均匀性 外层线路 阻抗控制

余水文

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2004-03-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)