数字式红外线高精度位移测量仪

摘要：

本文介绍了一种新型数字式红外线高精度位移测量仪的测量原理、电路设计和标定方法.用精度为0.1 μm的高精度螺旋测微器对其校准，这种仪器的位移测量的精度可以达到3×10-7m，动态范围是2.0000(mm)，具有广泛的应用前景.

关键词： 红外位移测量仪 光电转换 电路设计 精度校准

作者: 程永进 陈远金 吴雄伟

作者单位: 中国地质大学 数学与物理系，湖北 武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国高等学校物理实验教学研讨会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 324-326

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）