将溅射镀膜及薄膜生长动态监测技术引入普通物理实验

摘要：

金属薄膜的制备及薄膜特性的研究是当今微电子技术发展和材料科学研究领域中的重要课题.本文介绍了如何将溅射镀膜及薄膜生长的动态监测技术引入到普通物理实验教学中，以及在相关实验教学装置的设计、实验内容的编排和教学方式等方面的一些特点.

关键词： 普通物理实验 溅射镀膜 动态监测 教学方法

作者: 黄筱玲 田跃 邱宏

作者单位: 北京科技大学 应用科学学院 物理系，北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国高等学校物理实验教学研讨会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 13-15

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）