Y2O3薄膜的制备以及抗划伤性能和摩擦学性能研究

摘要：

采用自组装成膜技术制备Y2O3薄膜,利用XPS、XRD和AFM分析表征了薄膜的组成和结构,结果发现淀积在基片上的Y2O3薄膜比较致密、均匀且牢固性好,摩擦磨损实验表明：利用该方法制备的Y2O3，薄膜经600℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.

关键词： 自组装薄膜 抗划伤性能 摩擦学性能

作者: 杨生荣 王金清 刘晓红

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所，固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 223-226

在线出版日期: 2004-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）