磁过滤阴极弧法所制TiN薄膜的摩擦学性能研究

摘要：

用带有平面“S”形过滤管的磁过滤阴极弧设备(FACP)在不锈钢基底上制备了TiN薄膜，以往复球盘模式评价了薄膜的摩擦学性能.同时在相同沉积参数下，又用多孤镀(MAIP)制备TiN薄膜，发现FACP技术制备出的薄膜表面光滑，缺陷少，普遍有明显的(111)面择优取向，而MAI制备出的薄膜表面有较多大小不一的颗粒和孔洞且无明显取向。摩擦试验中，低载荷时，FACP薄膜表现出较好的耐磨性。通过SEM观察和BDS分析发现，有TiN磨屑沉积在其磨斑上.而对MASIP薄膜，无转移物质,摩擦系数保持在0.8到0.9之间。

关键词： 氮化钛 磁过滤等离子体 纳米薄膜 摩擦学性能

作者: 张玉娟 吴志国 阎鹏勋

作者单位: 河南大学特种功能材料重点实验室，河南 开封 475000 兰州大学等离子体与金属材料研究所，甘肃 兰州 730000 兰州大学等离子体与金属材料研究所，甘肃 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 120-122

在线出版日期: 2004-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）