集成电路失效分析技术

摘要：

本文通过实例综述了目前国内集成电路失效分析技术的现状和发展方向，包括：无损失效分析技术、信号寻迹技术、二次效应技术、样品制备技术和背面失效定位技术，为进一步开展这方面的工作提供参考。

关键词： 集成电路 失效分析 失效定位 信号寻迹

作者: 费庆宇

作者单位: 信息产业部电子第五研究所，电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国国际集成电路研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 318-322

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）