最新的集成电路诊断技术-OptiFIB

摘要：

集成电路诊断在第一片硅片的诊断中尤为重要。对于新的IC设计在加工第一片硅片前，必须进行特别的计划和努力。如果第一片硅片失效，必须尽一切可能修复。必须找到所有导致器件失效的原因并尽快找到修正方法。本文就最新的集成电路诊断技术-OptiFIB介绍如下：OptiFIB提供一个同轴光子-离子柱这样光和focused离子束能够同时看到器件上的同一点。此外这两种粒子可以配合使用从而能够提高编辑性能和效率。最后OptiFIB还能够对器件编辑的成功率给出统计结果。

关键词： 集成电路 电路诊断 硅片诊断 硅片失效 器件编辑

作者: Tsao Chun-Cheng Lundquist TR Miau Tzong-Tsong

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国国际集成电路研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 312-315

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）