半导体行业用靶材及蒸发源材料

摘要：

在不同产业相对比较之下，半导体产业对于溅射靶材、蒸发源材料的要求是最高的，半导体领域应用靶材是世界靶材市场的主要组成之一。本文主要介绍了靶材的分类，半导体行业用靶材的种类及制备工艺以及未来半导体行业用靶材的发展趋势。

关键词： 溅射靶材 半导体行业 蒸发源材料 靶材市场

作者: 江轩

作者单位: 有研亿金新材料股份有限公司北京 102200

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国国际集成电路研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 250-251

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）