ULSI配套材料248nm(KrF)光刻胶

摘要：

超大规模集成电路(ULSI)已经成为我国发展的关键产业之一。近几年来，连续引进和建设了多条生产线，其中包括上海华虹NEC、中芯国际(上海)、宏力、宁波中纬、苏州和舰科技等8”以上水平的生产线。超大规模集成电路生产的关键材料之一就是光刻胶。光刻胶的性能和光刻技术的选用将主宰其成败。现就ULSI配套材料248nm(KrF)光刻胶作一简要介绍。

关键词： 光刻胶 超大规模集成电路 配套材料 产品性能

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届中国国际集成电路研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 247-249

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）