高灵敏度电子隧道加速度计研究

摘要：

基于隧道效应的高灵敏度加速度计,在MEMS领域中具有其他加速度计不可比拟的特点和优点;本文讲述了电子隧道传感器的工作原理.目前我们作出的隧道传感器的分辨率可达10<”-3>□/(Hz)/2.介绍了隧道效应的加速度计的设计和器件制作的工艺流程.实验分析了反应离子刻蚀(RIE)和EPW湿法腐蚀制作的隧道硅尖;对硅-玻璃静电键合工艺进行了研究.制作出了隧道加速度计样品.

关键词： 电子隧道传感器 加速度计 微电子机械系统

作者: 李立杰 杨拥军 梁春广

作者单位: 电子部第十三研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 280-283

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）