双频电子束云纹光栅的制作工艺研究

摘要：

该文首次提出三镀层制作双频电子束云纹光栅的新工艺，文中对制栅工艺的原理、过程进行了探讨。本制栅工艺适用于制作0.1μm至25μm范围内所选定频率的双频光栅。

关键词： 电子束云纹法 三镀层双频光栅 电子束刻蚀法

作者: 谢惠民 戴福隆 王朝阳 岸本哲

作者单位: 清华大学工程力学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国实验力学学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 274-277

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）