ＤＢ７亚微米电子束曝光机

摘要：

介绍了ＤＢ７亚微米电子束暴光机的主要技术指标、性能、系统概况与测试结果。

关键词： 电子束曝光机 系统设计

作者: 刘求益 张俊国 覃志国

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 35～39

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）