电子束自动对准、自动调焦、自动消像散的物理研究

摘要：

对电子束曝光机中的电子束自动聚焦、自动对中、自动消像散的物理模型进行了研究。提出了实施自动调整的方法。

关键词： 电子束曝光机 束斑 聚焦 对中 像散

作者: 周开宇

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 108～112

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）