ＤＹ－７型深亚微米电子束曝光系统的研究

摘要：

主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标，并重点论述偏转器的优化设计。

关键词： 电子束曝光机 偏转器

作者: 王理明 张福安 薛虹 顾文琪

作者单位: 科学院电工研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 43～47

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）