高性能偏转放大器的研制

摘要：

介绍０．１微米矢量扫描圆形电子束曝光机的高性能磁偏转放大器的设计思想和技术措施，在保证扫描系统优良的输出线性前提下，取得高达２ＭＨｚ的扫描频率。

关键词： 电子束曝光机 偏转放大器 性能指标评定

作者: 唐晖 卢维美 薛虹

作者单位: 科学院电工研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 90～93

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）