电子束曝光机束斑自动测量数字硬件设计

摘要：

主要介绍电子束曝光机中，对束斑进行数字化自动测量的基本原理，介绍束斑自动测量译标记的要求和设计，以及为实现束斑自动测量对数字硬件电路所作的特别设计。

关键词： 电子束曝光机 电子束扫描 束斑测量 标记

作者: 邱小莎 曾岳阳

作者单位: 产业税电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 104～107

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）