ＤＢ７亚微米电子束曝光机的电定位检测与修正程序设计

摘要：

介绍了ＤＢ７－亚微米电子束曝光机上电定位检测与修正程序的目的和原理，并叙述了该程序的设计思想和具体实现。

关键词： 电子束曝光机 电定位 检测 修正

作者: 刘东明 邱小莎 曾岳阳

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 70～74

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）