ＤＢ７亚微米电子束曝光机计算机控制系统

摘要：

介绍了ＤＢ７亚微米电子束曝光机的计算机控制系统，重点介绍其技术要求、硬件结构和软件功能。

关键词： 电子束曝光 计算机控制 硬件 软件

作者: 郭忠君

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 67～69

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）