关键词： 电子束曝光 工件台 自动控制
作者: 薛虹 张福安 卢维美 王岩红
作者单位: 科学院电工研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 97～100
在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）