ＤＢ７亚微米电子束曝光机的电定位系统

摘要：

电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正，从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接；它还能对曝光过程中电子束的零漂进行修正，从而保证了在长时间曝光中图形的套刻精度。介绍了ＤＢ７业微米电子束曝光机上的电定位系统及其对主机的贡献。

关键词： 电子束曝光 电定位技术 场畸变修正

作者: 邱小莎 曾岳阳 刘东明

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 75～78

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）