微电子技术发展趋势初步探讨

摘要：

本文对二十世纪硅微电子技术的进展进行了回顾，分析了一系列新兴微电子技术的现状及其要求，并就其未来发展趋势进行了初步探讨。

关键词： 微电子技术 碳纳米管 磁材料 生物材料

作者: 周春芝

作者单位: 防化研究院,北京1044信箱203号,102205

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004中国集成电路产业发展研讨会暨第七届中国半导体行业协会集成电路分会年会

会议地点: 江苏无锡

会议语种:中文

页码: 162-164

在线出版日期: 2004-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）