微电子工业用超高纯丙烷的工业化生产
高纯丙烷是用途十分广泛的气体，它既是配气生产中的重要组分气，也是光电子元件重要的掺“碳” 源料。因此随着中国光电子产业的发展，高纯丙烷的需求量将不断扩大。前不久，笔者接到一份合同：一次需求50kg高纯丙烷，纯度要求99.996％以上。由于目前国内丙烷原料价格急剧上涨，且质量不可靠，笔者为了节约成本，没有采用价格昂贵、纯度较高的丙烷原料，而采用了纯度为95％的丙烷原料，这种95％ 的原料在市场可以方便购得。下面介绍了原理及纯化方法选择、工艺原理简介、实验结果比较及产品质量分析结果几个方面的内容。
超高纯丙烷 微电子工业 光电子元件 产品质量
吴江红 来庆福 陈丽 孙福楠
光明化工研究设计院,辽宁 大连 481信箱 116031
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2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）