2002～2003年日本特种气体市场

摘要：

本文概述了2002～2003年日本特种气体的产销情况、应用进展及部分公司近况，在文中介绍了四氟化碳、二氯二氢硅、四乙氧基硅烷、硅烷、磷烷、乙硼烷、高纯氯化氢等15种气体。

关键词： 特种气体 需求量 四氟化碳 二氯二氢硅 四乙氧基硅烷

作者: 田波

会议类型: 国内会议

会议名称: 《低温与特气》百期庆典暨低温与气体技术交流大会

会议地点: 辽宁大连

会议语种:中文

页码: 68-71

在线出版日期: 2004-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）