微波半导体器件研制与生产中需要的一些特殊测量技术

摘要：

随着半导体功率器件和MMIC需求的激增，硅和砷化镓功率器件及MMIC的研制与生产也迅速发展。需要准确测量功率器件的阻抗和低噪声管芯的噪声参数，由于计算机技术的进步和广泛应用，已经完全可以实现上述要求，这就是负载牵引测量和噪声参数的测量。本文介绍了负载牵引测量技术，分析了噪声参数测量技术，阐述了程控调配器。

关键词： 微波半导体 半导体器件 功率器件 噪声参数 负载牵引测量 噪声测量

作者: 郑延秋

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年21世纪中国电子仪器发展战略研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 11-17

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）