CBD-CdS薄膜过程暂态分析

摘要：

本文通过原子力显微镜(AFM)和多重分形的分析方法对CBD制备CdS薄膜生长的研究，成功制各出结构紧密的CdS薄膜.研究了强制搅拌对薄膜生长行为的影响。研究表明：在反应初期，随着沉积时间的增加,CdS薄膜多重分形谱的宽度增加，△f增大，薄膜沉积表面高度分布随着沉积时间的增加，不均匀性显著增加。随着沉积的不断继续.CdS薄膜在水平和垂直方向生长并逐渐形成连续致密的镀层。其中，CdS薄膜生长后期表现出异常的多重分形的变化(rms减小，多重分形谱变窄)，该现象的出现由磁力搅拌以及CdS薄膜反应机理造成的。

关键词： 镉硫薄膜 薄膜省长 多重分形 金相分析

作者: 蔡珣 李文漪 陈秋龙 于会生

作者单位: 上海交通大学教育部高温材科及高温测试开放实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国典型零件热处理学术及技术交流会暨第五届全国热处理学会物理冶金学术交流会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 71-76

在线出版日期: 2004-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）