飞秒激光的波长对SiC材料烧蚀的影响
130fs、800nm、0.7mJ的激光脉冲经过光学参量放大系统后可以在近紫外到红外光的范围内改变其波长。本文利用10倍的显微物镜将近红外激光脉冲汇聚到宽带隙半导体材料6H SiC的前表面,研究在飞秒激光照射下样品烧蚀及诱导微细结构的物理机制。烧蚀斑用光学显微镜测量,利用烧蚀面积与激光脉冲能量的线性关系,确定了SiC的烧蚀阈值。 我们首次给出了SiC样品的烧蚀阈值与飞秒激光波长的依赖关系,并讨论了相关的物理机制。这些结果对于提高飞秒激光纳微米加工,加深人们对飞秒激光激发材料的理解具有一定的意义。
飞秒激光 激光脉冲 半导体材料 烧蚀阈值
陈洪新 贾天卿 赵福利 黄敏 邓少芝 许宁生 徐至展
中山大学光电材料与技术国家重点实验室,510275,广州市新港西路135号
国内会议
福建武夷山
中文
1003-1013
2004-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）