一种高精度原子力显微镜的设计及应用

摘要：

简述了重庆大学数理学院研制的AFM样机的工作原理和应用，较为详细地介绍了镜体的独特设计。该样机采用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏，通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描，有效提高了扫描精度，扩大了扫描范围。简单适用的微悬臂使操作大大简化。文章还给出了用该机检测到的具有代表性的4种样品的表面形貌图。

关键词： 原子力显微镜 镜体设计 微悬臂 扫描精度 表面形貌图

作者: 杨学恒 陈红兵 费德国 谢超 杨惠

作者单位: 重庆大学数理学院,重庆 400030

会议类型: 国内会议

会议名称: 2004年重庆市首届工程师大会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 185-189

在线出版日期: 2004-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）