微型旋转机械研究进展

摘要：

对微机电系统(MEMS)旋转机械,尤其是微旋转机械中微电机和动力MEMS的研究现状进行评述,介绍微电机和动力MEMS的发展历程,探讨微旋转机械的动力驱动和微尺度效应,示例阐述微电机和动力MEMS的应用前景和影响因素,并对相关领域的研究进展进行展望.

关键词： 微机电系统 微旋转机械 微电机 动力MEMS 微尺度效应

作者: 张文明 孟光 黄海 周健斌 陈杰宇

作者单位: 上海交通大学 机械系统与振动国家重点实验室,上海 200240 沈阳发动机设计研究所,沈阳 110015

会议类型: 国内会议

会议名称: 第8届全国转子动力学学术讨论会

会议地点: 湖南湘潭

会议语种:中文

页码: 106-109

在线出版日期: 2008-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）