半导体器件模拟技术及软件发展与现状

摘要：

随着半导体集成电路的高速发展,器件结构日趋复杂,设计难度不断加大,计算机模拟技术因其强大的模拟仿真能力,时间成本的优越性,正扮演着越越来越重要的角色。本文着重介绍了从一维到三维,从微米级到纳米级器件模拟技术的发展,并结合几个常用的器件模拟软件进行了分析、比较和说明。

关键词： 集成电路 芯片设计 器件模拟 应用软件

作者: 潘金辉 来萍 李斌

作者单位: 华南理工大学微电子所,广东 广州 510640 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广东 广州 510610 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广东 广州 510610 华南理工大学微电子所,广东 广州 510640

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十四届青年学术年会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 238-241

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）