一种新型结构的硅微加速计的设计
本文提出了一种可用于压阻式硅微加速度传感器的结构设计,用两根平行的悬臂梁取代常规的单悬臂梁结构,这种双层悬臂梁结构有助于提高悬臂梁中的纵向压敏电阻的灵敏度。由于该结构属于静不定系统,所以采用虚功原理结合Maxwell-Mohr公式来进行理论分析。有限元仿真的结果验证了这种设计的可行性及理论分析的正确性。
速度传感器 微加速度计 悬臂梁结构 有限元仿真
鲍路路 孔德义 林丙涛 江儒龙
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,合肥 230027 中国科学技术大学,合肥 230031
国内会议
广州
中文
125-128
2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）