一种低电场干扰的FAIMS离子迁移管结构设计

摘要：

高场强不对称波形迁移谱(FAIMS)仅中迁移管电极之间存在较强的电场干扰,限制了迁移管检测精度的进一步提高。为了解决这一问题,本文提出了一种基于电场屏蔽原理减小其干扰的方法。该方法采用由主屏蔽电极和辅助屏蔽电极组成的屏蔽结构,并利用ANSYS对其屏蔽效果进行了仿真验证,结果显示加有主屏蔽电极和辅助屏蔽电极后电场干扰强度降低到未加屏蔽电极时的0.67％,屏蔽效果明显。

关键词： 漂移晶体管 波形迁移谱 电场干扰 屏蔽电极

作者: 林丙涛 陈池来 孔德义 李庄 梅涛

作者单位: 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室 合肥 230031 中国科学技术大学 自动化系 合肥 230027 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,安徽省仿生感知与先进机器人技术重点实验室 合肥 230031

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十四届青年学术年会

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 121-124

在线出版日期: 2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）