Si(111)衬底上MgO薄膜的脉冲激光沉积

摘要：

以MgO陶瓷为靶材,采用脉冲激光沉积技术在Si(111)衬底上制备MgO薄膜,重点研究了衬底温度对MgO薄膜结构的影响.利用X射线衍射测试了不同衬底温度下沉积的薄膜物相和结晶度,通过原子力显微镜对其表面形貌进行了观察.结果表明,随着衬底温度的升高,薄膜的结晶性提高.450℃时,得到了物相单一、结晶良好、表面平整光滑、致密且沿(100)方向择优取向生长的MgO薄膜.

关键词： 氧化锰薄膜 脉冲激光沉积 衬底温度 薄膜结构 结晶度 表面形貌

作者: 王芳 王传彬 李凌 沈强 张联盟

作者单位: 武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉 430070

会议类型: 国内会议

会议名称: 第11届全国固体薄膜会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 95-100

在线出版日期: 2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）