高掺硼多晶金刚石薄膜的制备与表征
本文用热丝化学气相沉积方法以si(100)为衬底制备了不同掺硼浓度的高掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜进行了检测.扫描电子显微镜观察了不同掺硼浓度对薄膜表面形貌的影响.拉曼光谱分析了金刚石一阶拉曼特征峰1332cm-1随着掺硼浓度的变化以及运用峰位的漂移计算薄膜的内应力.同时还分析了金刚石薄膜拉曼光谱中500cm-1和1220cm-1附近的宽峰随掺硼浓度的变化情况.
高掺硼 金刚石薄膜 拉曼光谱 化学气相沉积 电子显微镜
屈芳 白亦真 施维 庄春强 贾福超 姜辛
大连理工大学 三束材料改性国家重点实验室,辽宁 大连 116024 大连理工大学 物理与光电工程学院,辽宁 大连 116024 大连理工大学 三束材料改性国家重点实验室,辽宁 大连116024 大连理工大学 物理与光电工程学院,辽宁 大连 116024 大连理工大学 三束材料改性国家重点实验室,辽宁 大连 116024 德国锡根大学 材料工程学院,德国 锡根 57056
国内会议
杭州
中文
52-57
2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）