中国集成电路材料的发展和展望
半导体材料对集成电路产业的发展起着重要的支撑作用,目前我国90％以上的集成电路材料从国外进口,高端的芯片材料几乎100％依赖进口,集成电路产业的高速发展对半导体材料的本土化提出了迫切的需求。本文介绍了集成电路产业对半导体材料的需求、目前国内半导体材料(尤其是超大规模集成电路配套材料)的现状及发展,重点讨论了SLD、SIMBOND等SOI材料及器件的工艺研究及产业应用，SGOI等应变硅材料的研究进展，铪基栅介质薄膜等高k材料在新一代集成电路器件中的应用，SiCOF、a-C:F等低k材料在互连技术中的应用等内容。
集成电路 电路器件 芯片设计 半导体材料
邹世昌
中国科学院 上海集成电路行业协会
国内会议
广州
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2008-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）