直拉法单晶硅生长中的流动及其影响

摘要：

总结了熔体中生长直拉硅单晶的基本控制要求,讨论了Cz法单晶生长中的各种流动及其对硅单晶生长的影响。借助于计算机模拟结果,显示了几种抑制热对流、优化单晶生长条件的方法。

关键词： 晶体生长 热对流 单晶硅 计算机模拟

作者: 左然 Vladimir Kalaev 张东亮 汪钉崇

作者单位: 江苏大学能源动力学院 STR Group,俄罗斯 技术发展部,常州天合光能有限公司 江苏省 常州市 213031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 1095-1098

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）