硅片脱胶机的改进
在自动脱胶机的清洗过程中,通过调整各工序的次序和增加新型化学药剂的方法,试验比较出一种方案,既能把硅片洗的比较干净又能脱胶彻底,且破片率低于0.2%。
脱胶机 硅片 喷淋 清洗工序
许结刚 刘振淮 王仁杰 汪钉崇
技术发展部,常州天合光能有限公司 江苏省 常州市 213031
国内会议
常州
中文
1043-1044
2008-09-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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许结刚 刘振淮 王仁杰 汪钉崇
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