PECVD石墨垫使用寿命的改善

摘要：

在太阳能电池制造过程中，等离子增强型化学气相沉积(PECVD)这一道工序是必须而且非常重要的。而大多数传统PECVD设备都会用石墨框来装载电池片，因此用来支撑石墨框的石墨垫是必不可少的。因此，本文通过对石墨架内角铁的尺寸，质地的重新设计并制作，有效的改善了石墨垫的使用寿命。

关键词： 石墨垫 太阳能电池 等离子增强 化学气相沉积 使用寿命

作者: 沈寅 王仁杰 冯春暖 汪钉崇

作者单位: 技术发展部,常州天合光能有限公司 江苏省 常州市 213031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届中国太阳能光伏会议

会议地点: 常州

会议语种:中文

页码: 1007-1009

在线出版日期: 2008-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）